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  • MOCVD钨及铼发热体
  • MOCVD钨及铼发热体

MOCVD钨及铼发热体

我们始终坚持以自产的钨、钼、钽、铌等难熔金属材料作为品质基础,拥有各类线切割、磨床、铣床、加工中心等全套完整的高精度材料机械加工装备。能够按客户的要求设计、生产加工高精度高品质产品。

产品介绍


产品用途:

用作半导体MOCVD设备的部件。

Application:

 They are used as a component of semiconductor MOCVD system.

 

产品加工精度参数/Product Processing Accuracy Parameters

主要材质Main Materials

加工范围Processing

Range

尺寸精度Dimensional Accuracy

(mm)

形状精度Shape Accuracy 

(mm)

位置精度Position Accuracy (mm)

光洁度Finish

(Ra, μm)

WRE

0.00-5.00

±0.003

0.01

0.005

0.2-0.4

WRE

5.01-15.00

±0.005

0.015

0.006

0.4

WRE

15.01-30

±0.008

0.02

0.007

0.4

WRE

30.01-100

±0.010

0.025

0.008

0.6

WRE

>100

±0.0127

0.030

0.010

0.6

 


电话咨询

0731-88056699

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